洁净室的洁净度标准和平面布置不同，其洁净方法也不同。因此，洁净室的清洁方法要“量体裁衣”。下面的信息与此有关。另外，还可查阅美国环境科学与技术学会的推荐准则IEST--RP--CC018：“洁净室管理-运行和监测程序”。当设置一般清洁方法时，要考虑下述这些要点：
1、如果能够看到洁净室内有尘埃，则它就不是洁净室，所以必须进行清洁。
2、对洁净室进行清洁时会产生很多粒子。为使清洁过程产生的污染*小，空调系统要全部开动。
3、装在桶中的清洁媒介，可用蒸馏水或去离子水或所能得到的*洁净的水加以稀释。
4、用于“关键”区的清洁介质或消毒剂，应选择那些对产品危害*小，且浓度*低但有良好效果的产品。
5、清洁人员应与生产人员穿戴同一标准的服装和手套。
6、清洁工作要进行得比在家里慢，这样可使粒子的扩散*少，保证清洁更有效。
7、必须向那些清洁房间的人解释清楚，它们所清除的粒子和微生物是看不见的。即使洁净室看上去是清洁的，仍需对它进行系统性的彻底清洁。
8、有使用带喷嘴的瓶子来喷洒清洁液或消毒剂的，但根据我做的测试，其每喷1次可释放出的大于等于0.5um的粒子超过100万个。所以，*好是在喷洒液体时用抹布遮住喷嘴。如使用手泵喷洒可能就会好一些。
9、细菌会在稀释了的清洁液中生长。所以清洁时要使用从浓缩液新配制的新鲜清洁液，并要使其储存时间达到*少。不应把留有清洁液的容器放置后有频繁地加满再用，因为容器中可能会有细菌生长。容器在使用之后应彻底清洗并使之干燥。
