依照国际惯例,无尘净化级别主要是依据每立方米空气中粒子直径大于划分规范的粒子数量来规则。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个十分微量的单位上。当然这个规范中契合灰尘规范的颗粒相关于我们常见的灰尘曾经是小的微乎其微,但是关于光学结构而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生十分大的负面影响,所以在光学结构产品的消费上,无尘是必然的请求。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就到达了国际无尘规范的A级。目前应用在芯片级消费加工的无尘规范关于灰尘的请求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片消费上。微尘数量被严厉控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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